UHR FE-SEM FIB Tescan SOLARIS X
Sistemi UHR FE-SEM FIB con Colonna Ionica al Plasma di Xenon
Il nuovo UHR FE-SEM FIB TESCAN SOLARIS X è la soluzione tecnologica ideale per la realizzazione di sezioni ampie e profonde e per applicazioni avanzate di end-pointing per l’analisi dei fallimenti delle strutture di packaging di dispositivi a semiconduttore sia di tipo micromeccanico che optoelettronico.
Caratteristiche prodotto
- Colonna elettronica TriglavTM UHR-SEM
- Tipologia emettitore: di tipo Schottky termoassistita
- Risoluzione: 0,6 nm @ 15kV – 1,2 nm @ 1 kV
- Corrente di sonda: da 2 pA a 400 nA
- Rivelatori standard: ET-SE, BSE, Multidetector, Axial Detector
- Colonna Ionica iFIB+TM al gas di Xenon
- Risoluzione: <15 nm @ 30kV
- Tavolino portacampioni motorizzato su 5 assi
- Ingrandimenti: da 1 X a 1.000.000 X
- Software di Gestione EssenceTM con 3D Collision Model
- Decontaminatore al Plasma integrato
La colonna al plasma di Xe consente di esporre superfici perfettamente lucide e prive di contaminazioni al Gallio e senza alcun tipo di danneggiamento meccanico indotto, come invece possibile con l’utilizzo di tecniche tradizionali di lucidatura.
Scopri le specifiche
Approfondisci le caratteristiche del prodotto su
