UHR FE-SEM FIB Tescan AMBER X
Sistemi UHR FE-SEM FIB con Colonna Ionica al Plasma di Xenon
Il nuovo PlasmaFIB-FESEM Tescan AMBER X offre una combinazione di colonna elettronica Ultra High Resolution di tipo field-free e Plasma FIB (plasma di Xenon), unica sul mercato.
Caratteristiche prodotto
- Colonna elettronica TESCAN BrightBeamTM Field-Free UHR-SEM
- Tipologia emettitore: di tipo Schottky termoassistita
- Risoluzione: 0,9 nm @ 15kV – 1,5 nm @ 1 kV
- Corrente di sonda: da 2 pA a 400 nA
- Rivelatori standard: ET-SE, BSE, Multidetector, Axial Detector
- Colonna Ionica iFIB+TM al gas di Xenon
- Risoluzione: <15 nm @ 30kV
- Tavolino portacampioni motorizzato su 5 assi
- Ingrandimenti: da 1 X a 1.000.000 X
- Software di Gestione EssenceTM con 3D Collision Model
- Decontaminatore al Plasma integrato
Pensato per la caratterizzazione di campioni e materiali difficilmente gestibili con una colonna ionica al Ga, il sistema combina la colonna elettronica BrightBeamTM, che garantisce elevata risoluzione produttività, alla colonna ionica iFIB+TM al gas di Xenon.
Il Plasma a ioni di Xenon consente di rimuovere elevate quantità di materiale e, data la natura inerte del gas, di ottenere preparazioni di campioni esenti da contaminazioni di Ga.
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