UHR FE-SEM FIB Tescan SOLARIS
Sistemi UHR FE-SEM FIB con Colonna Ionica al Gallio
Il nuovo UHR FE-SEM FIB TESCAN SOLARIS rappresenta la piattaforma di lavoro ideale per applicazioni di nanofabbricazione avanzata.
Caratteristiche prodotto
- Colonna elettronica TriglavTM UHR-SEM
- Tipologia emettitore: di tipo Schottky termoassistita
- Risoluzione: 0,6 nm @ 15kV – 1,2 nm @ 1 kV
- Corrente di sonda: da 2 pA a 400 nA
- Rivelatori standard: ET-SE, BSE, Multidetector, Axial Detector
- Colonna Ionica OrageTM con sorgente LMIS
- Risoluzione: 2,5 nm @ 30kV
- Tavolino portacampioni motorizzato su 5 assi
- Ingrandimenti: da 1 X a 1.000.000 X
- Software di Gestione EssenceTM con 3D Collision Model
- Decontaminatore al Plasma integrato
Il sistema infatti utilizza sia la colonna ionica OrageTM al Ga, la più precisa e ad alta risoluzione attualmente disponibile, sia la colonna elettronica TriglavTM di ultra alta risoluzione. Le caratteristiche tecniche di queste due colonne permettono il raggiungimento delle più elevate risoluzioni possibili richieste nei processi di prototipazione di dispositivi nanometrici e la fabbricazione di lamelle TEM di spessori estremamente sottili, fino a 10nm.
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