UHR FE-SEM Tescan CLARA
Microscopi ad Emissione di Campo FE-SEM di Classe UHR
Il SEM è dotato dell’innovativa tecnologia BrightBeamTM che combina una lente obiettivo elettrostatica/elettromagnetica con un sistema di rivelazione di nuova concezione. Il design della lente permette di lavorare ad altissima risoluzione anche alle bassissime tensioni di accelerazione (fino a 50eV). In aggiunta, il nuovo sistema di rivelatori permette la selezione dei segnali raccolti secondo il loro angolo di take off o la loro energia, garantendo in questo modo la raccolta di nuove informazioni sulla topografia e sulla natura chimica del campione.
Il FE-SEM CLARA è uno strumento altamente versatile, ideale per la caratterizzazione dei nanomateriali, per rigorosi controlli qualitativi su prodotti a elevato contenuto tecnologico e per l’industria dei semiconduttori.
Caratteristiche prodotto
- Tipologia emettitore: di tipo Schottky termoassistita
- Risoluzione: 0,9 nm @ 15kV – 1,4 nm @ 1 kV
- Rivelatori standard: ET-SE, BSE, Multidetector, Axial Detector
- Modalità HV ed LV (opzionale) fino a 500 Pa
- Corrente di sonda: da 2 pA a 400 nA
- Tavolino portacampioni motorizzato su 5 assi
- Camere disponibili: di medie dimensioni (LM) o di grandi dimensioni (GM)
- Ingrandimenti: da 1 X a 1.000.000 X con camera GM
- Software di Gestione EssenceTM con 3D Collision Model
- Decontaminatore al Plasma integrato
Il nuovissimo UHR FE-SEM TESCAN CLARA è un microscopio elettronico a scansione ad ultra-alta risoluzione progettato per garantire elevatissime performance di imaging e di analisi sui più diversi campioni nelle più diverse condizioni operative.
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