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Automatic Sputter Coater 108A

Metallizzatore Automatico

Ideale per la preparazione di routine dei campioni, attraverso la deposizione automatica di metalli e grafite, per l’imaging SEM standard.

Compatto, robusto, economico e semplice da usare garantisce tempi di processo ridotti e risultati eccellenti.

Lo sputtering freddo e a grana fine viene ottenuto con una testa magnetron CC a bassa tensione molto efficiente per evitare effetti sulla superficie del campione.

Le funzioni automatiche di spurgo e perdita combinate con il controller di spessore ad alta risoluzione MTM-20 (opzionale), offrono un processo automatizzato per risultati di rivestimento conduttivo ottimizzati.

 

Cressington
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Caratteristiche prodotto


  • Chamber size: Ø120mm x 120mm high (4.75"x4.75")
  • Sample table: Ø63mm
  • Holds 12 SEM ½" stubs
  • Height adjustment through 60mm
  • Sputter head:
  • Low voltage planar magnetron
  • Quick target exchange
  • Wrap-around dark-space shield
  • Sputter supply:
  • Microprocessor based
  • Safety interlocked
  • Current control independent of vacuum level
  • Digitally selectable current (10, 20, 30 or 40mA)
  • Sputter target (Not included): Ø57mm x 0.1 to 0.3mm thick
  • Available materials: Au, Au/Pd, Pt, Pt/Pd, …and more !
  • Control method:
  • Automatic operation of gas purge and leak functions
  • Automatic process sequencing
  • Full manual override
  • Digital timer: 5-300s with pause
  • Automatic vent
  • Analogue metering:
  • Vacuum: Atm - 0.001mbar (Pirani gauge vacuum measurement)
  • Current: 0 - 50mA

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